Bentuk asal aliran Saiva Siddhanta ini tidak dapat dipastikan. Namun, beberapa orang berpandangan bahawa ia berasal dari doktrin monisme yang dipegang oleh Thirumular. Selain itu, kelihatan juga bahawa aliran awal Saiva Siddhanta ini berkembang di satu tempat di India Selatan sebagai satu bentuk agama yang bertumpu kepada upacara kenaikan yang mengurniakan juga kebebasan kepada penganutnya. Upacara kenaikan ini boleh jadi dipinjam dari tradisi Pasupata. Pada awal perkembangan keagamaan aliran ini, persoalan antara monisme dan dualisme menjadi tumpuan utama dalam perdebatan agama namun ia belum lagi menjadi isu yang penting.
Pergerakan Bhakti Tamil
Dari abad ke-5 sehingga ke-8 masihi, ajaran Buddha dan ajaran Jain mula merebak ke Tamil Nadu sebelum pergerakan Bhakti Saiva muncul semula dengan sokongan dasar kerajaan yang memaksa rakyat supaya menerimanya. Antara abad ke-7 masihi dan ke-9 masihi, sadhu pengembara seperti Sambandar, Appar, Sundarar dan 63 orang Nayanmar selalu mendendangkan lagu-lagu mengenai keagungan Betara Siva sambil menolak konsep dalam ajaran Buddha dan ajaran Jain.
Selain itu, tokoh seperti Manikkavasagar menghasilkan karya berjudul Thiruvasagam yang menceritakan pengalaman kebaktian, cinta abadi terhadap Tuhan dan usaha segera dalam mencapai kebenaran. Lagu-lagu dari empat orang sadhu ini kemudian membentuk Thirumurai yang dianggap sebagai dasar kitab suci bagi penganut Saiva Siddhanta di Tamil Nadu selain daripada veda-veda, agama Saiva dan sastera Meykanda. Boleh jadi juga himpunan Thirumurai ini belum lagi dianggap sebagai kitab suci dalam agama Saiva Siddhanta ketika ia baru dikumpulkan. Selain itu, pengarang lagu-lagu ini sendiri tidak pernah pun mendakwa bahawa karya mereka itu adalah sebahagian daripada agama Saiva Siddhanta.
Pergerakan Bhakti tidak sepatutnya dianggap sebagai hujah bagi "pertarungan antara jati" walaupun terdapat juga perasaan yang tidak senang dengan susunan masyarakat yang ketat ketika itu.
Jalinan Tamil dan Sanskrit
Dalam abad ke-12 masihi, Aghorasiva yang menjadi ketua matham susunan Amardaka di Sithambaram menjalankan tugas memadukan aliran Siddhanta Sanskrit dan Tamil. Beliau dengan tegasnya menolak tafsiran monisme Siddhanta sebaliknya membawa perubahan dalam pemahaman terhadap Siva dengan menyusun semula panchatattva iaitu nada, bindu, sadasiva, isvara dan suddhavidya ke dalam pasa (ikatan). Beliau menyatakan bahawa panchatattva adalah kesan dari penyebab dan merupakan ciri yang tidak disedari. Kenyataan beliau ini menyimpang dari ajaran tradisional yang menyatakan bahawa panchatattva itu adalah sifat-sifat Tuhan.
Aghorasiva berjaya dalam memelihara upacara Sanskrit dari tradisi agama purba. Sehingga hari ini, falsafah Aghorasiva diikuti oleh kebanyakan pedanda Sivacharya di kuil-kuil warisan nenek moyang mereka. Sastera berkenaan agamanya kemudian menjadi panduan pemujaan yang piawai. Beliau turut menghasilkan Kriyakramadyotika yang mencakupi hampir kesemua aspek upacara pemujaan Saiva Siddhanta termasuklah pemujaan harian Siva, upacara khusus, upacara kenaikan, upacara kematian dan perayaan.
Tokoh-tokoh pada abad ke-13 masihi seperti Meykandar, Arulnandi Sivacharya dan Umapati Sivacharya bertanggungjawab melanjutkan lagi tradisi Tamil aliran Saiva Siddhanta. Karya berjudul Sivajnanabodham oleh Meykandar dan karya berikutnya oleh pengarang lain dalam abad ke-13 dan ke-14 masihi menetapkan dasar bagi Meykandar Sampradaya yang menekankan kepada hakikat pluralistik di mana Tuhan, roh dan dunia itu saling wujud dan tanpa awalan. Siva merupakan kesan yang berkesan dan bukan zahir. Mereka memandang bahawa roh itu bergabung di dalam Siva seperti garam dalam air, kesatuan abadi yang juga dua.
Siva Siddhanta Moden
Siva Siddhanta diamalkan secara meluas oleh penganut Saiva di India Selatan dan Sri Lanka terutamanya dalam kalangan komuniti Brahmin, Vellalar dan Nagarathar. Penganut aliran ini di Tamil Nadu sahaja berjumlah lima juta orang sedangkan di luar negara ia turut dianuti oleh komuniti Tamil yang berhijrah. Terdapat beribu-ribu kuil yang berfungsi di Tamil Nadu dan seluruh dunia di mana terdapat komuniti Tamil di situ. Selain itu, wujud pelbagai tradisi sadhu dan matham bersama dengan Adisaiva iaitu pedanda komuniti yang berkelayakan dalam menjalankan upacara agama di kuil Saiva.
